公开(公告)号：DE69302029T2

公开(公告)日：1996-10-24

申请号：DE69302029

申请日：1993-01-21

Applicant: IBM

Inventor： CUOMO JEROME JOHN ,  GUARNIERI CHARLES RICHARD ,  HOPWOOD JEFFREY ALAN ,  WHITEHAIR STANLEY JOSEPH

IPC: H01L21/205 ,  C23F4/00 ,  H01J37/32 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

公开(公告)号：DE69302029D1

公开(公告)日：1996-05-09

申请号：DE69302029

申请日：1993-01-21

Applicant: IBM

Inventor： CUOMO JEROME JOHN ,  GUARNIERI CHARLES RICHARD ,  HOPWOOD JEFFREY ALAN ,  WHITEHAIR STANLEY JOSEPH

IPC: H01L21/205 ,  C23F4/00 ,  H01J37/32 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31