公开(公告)号：DE69214087D1

公开(公告)日：1996-10-31

申请号：DE69214087

申请日：1992-10-09

Applicant: IBM

Inventor： JASO MARK ANTHONY ,  JONES PAUL BRADLEY ,  MEYERSON BERNARD STEELE ,  PATEL VISHNUBHAI VITTHALBHAI

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/768 ,  H01L21/311

公开(公告)号：DE69214087T2

公开(公告)日：1997-04-03

申请号：DE69214087

申请日：1992-10-09

Applicant: IBM

Inventor： JASO MARK ANTHONY ,  JONES PAUL BRADLEY ,  MEYERSON BERNARD STEELE ,  PATEL VISHNUBHAI VITTHALBHAI

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/768 ,  H01L21/311