公开(公告)号：SG90720A1

公开(公告)日：2002-08-20

申请号：SG200001282

申请日：2000-03-09

Applicant: IBM

Inventor： PUSHKARA RAO VARANASI ,  JOSEPH F MANISCALCO ,  MARGARET C LAWSON ,  ANN MARIE MEWHERTER ,  MAHMOUD M KHOJASTEH ,  GEORGE M JORDHAMO ,  ROBERT D ALLEN ,  JULIANN OPTIZ ,  HIROSHI ITO

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/039

公开(公告)号：SG96547A1

公开(公告)日：2003-06-16

申请号：SG200001379

申请日：2000-03-10

Applicant: IBM

Inventor： PUSHKARA RAO VARANASI ,  ROBERT D ALLEN ,  THOMAS I WALLOW ,  JULIANN OPTIZ ,  RICHARD A DEPIETRO ,  MARGARET C LAWSON ,  ANN MARIE MEWHERTER ,  JOSEPH F MANISCALCO ,  GEORGE M JORDHAMO

IPC: C08K5/41 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027