公开(公告)号：JPS58119640A

公开(公告)日：1983-07-16

申请号：JP18222082

申请日：1982-10-19

Applicant: IBM

Inventor： BENJIYAMIN JIYON KIYANABUERO ,  MAIKERU HATOZAKISU

IPC: H01L21/3205 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/306 ,  H05K3/00 ,  H05K3/04

公开(公告)号：JPS60147732A

公开(公告)日：1985-08-03

申请号：JP19276284

申请日：1984-09-17

Applicant: IBM

Inventor： EDOWAADO DAAKO BABITSUCHI ,  MAIKERU HATOZAKISU ,  JIYURIJI ROSUTEISURABU PARASUZ ,  JIEEN MAAGARETSUTO SHIYOU

IPC: G03C1/72 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027