公开(公告)号：DE3174374D1

公开(公告)日：1986-05-22

申请号：DE3174374

申请日：1981-01-23

Applicant: IBM

Inventor： HORNG CHENG TZONG ,  MICHEL ALWIN EARL

IPC: H01L21/76 ,  H01L21/225 ,  H01L21/28 ,  H01L21/331 ,  H01L21/60 ,  H01L29/04 ,  H01L29/45 ,  H01L21/00 ,  H01L21/285

公开(公告)号：DE2812740A1

公开(公告)日：1978-10-05

申请号：DE2812740

申请日：1978-03-23

Applicant: IBM

Inventor： MICHEL ALWIN EARL ,  SCHWENKER ROBERT OTTO ,  ZIEGLER JAMES FRANCIS

IPC: H01L27/08 ,  H01L21/265 ,  H01L21/331 ,  H01L21/74 ,  H01L21/76 ,  H01L29/36 ,  H01L29/73 ,  H01L21/72