公开(公告)号：CA977969A

公开(公告)日：1975-11-18

申请号：CA159460

申请日：1972-12-20

Applicant: IBM

Inventor： MURPHY THOMAS J ,  WILSON DONALD M

IPC: H05K3/28 ,  C03C17/04 ,  C03C17/36 ,  C23C8/16 ,  H01J9/20 ,  H01J17/49

公开(公告)号：CA977968A

公开(公告)日：1975-11-18

申请号：CA159459

申请日：1972-12-20

Applicant: IBM

Inventor： HABERLAND PETER H ,  LAY FRANK M ,  SKOLNIK MARVIN B ,  SPENCER OLIVER S ,  MURPHY THOMAS J ,  WAGNER PETER R ,  WHITAKER HOWARD L ,  WILSON DONALD M

IPC: H05K3/28 ,  H01J20060101 ,  H01J9/02 ,  H01J9/26 ,  H01J9/32 ,  H01J11/10 ,  H01J11/12 ,  H01J11/24 ,  H01J11/46 ,  H01J65/04