公开(公告)号：SE7801728A

公开(公告)日：1978-08-24

申请号：SE7801728

申请日：1978-02-15

Applicant: IBM

Inventor： PFEIFFER H C ,  RYAN P M ,  WEBER E V

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/09 ,  H01J37/30 ,  H01L21/027 ,  G21K1/00

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J37/09

公开(公告)号：SE437441B

公开(公告)日：1985-02-25

申请号：SE7801728

申请日：1978-02-15

Applicant: IBM

Inventor： PFEIFFER H C ,  RYAN P M ,  WEBER E V

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/09 ,  H01J37/30 ,  H01L21/027 ,  G21K1/08

公开(公告)号：SE7801728L

公开(公告)日：1978-08-24

申请号：SE7801728

申请日：1978-02-15

Applicant: IBM

Inventor： PFEIFFER H C ,  RYAN P M ,  WEBER E V

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/09 ,  H01J37/30 ,  H01L21/027 ,  G21K1/00