公开(公告)号：JP2004158851A

公开(公告)日：2004-06-03

申请号：JP2003359944

申请日：2003-10-20

Applicant: Internatl Business Mach Corp ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Maschines Corporation

Inventor： CLEVENGER LARRY ,  KLEPEIS STANLEY ,  LU HSIAO-LING ,  MARINO JEFFREY ,  SIMON ANDREW HERBERT ,  WANG YUN-YU ,  WONG KWONG HON ,  YANG CHIH-CHAO

IPC: H01L23/52 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532

CPC classification number: H01L21/76843 ,  H01L21/76846 ,  H01L23/53238 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem of carbon contamination that dos not occur in circuits using oxide as dielectric, which exists in advanced technology using low-k organic-based interlayer dielectrics in copper backend integrated circuit technology. SOLUTION: A composite liner layer for the copper lines uses Ti as a bottom layer, which has property of gettering carbon and other contaminants. The known problem of Ti as reacting with copper to form a high resistivity compound is avoided by adding a layer of TiN, which isolates the Ti and the copper. COPYRIGHT: (C)2004,JPO

公开(公告)号：DE112021005680B4

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：DE112021005680

申请日：2021-11-18

Applicant: IBM

Inventor： OK INJO ,  BAO RUQIANG ,  SIMON ANDREW HERBERT ,  BREW KEVIN ,  SAULNIER NICOLE ,  SARAF IQBAL RASHID ,  SANKARAPANDIAN MUTHUMANICKAM ,  MEHTA SANJAY

IPC: H10B63/10 ,  H10N70/20

Abstract: Struktur (100); aufweisend:ein Heizelement (116), das von einer dielektrischen Schicht (114) umgeben ist;einen Projektions-Liner (124) auf dem Heizelement, wobei der Projektions-Liner eine obere Oberfläche des Heizelements bedeckt;eine Phasenwechselmaterialschicht (126) über dem Projektions-Liner, wobei der Projektions-Liner die Phasenwechselmaterialschicht von der zweiten dielektrischen Schicht (114) und dem Heizelement trennt;eine obere Elektrode (128) über und in elektrischem Kontakt mit der Phasenwechselmaterialschicht; undeinen oberen Elektrodenkontakt (136), der die obere Elektrode (128) und einen oberen Teil der Phasenwechselmaterialschicht umschließt, wobei der obere Elektrodenkontakt durch einen Metall-Liner (134) von der Phasenwechselmaterialschicht und der oberen Elektrode getrennt wird.