公开(公告)号：DE2146008A1

公开(公告)日：1973-03-22

申请号：DE2146008

申请日：1971-09-15

Applicant: IBM DEUTSCHLAND

Inventor： SCHNEIDER JOCHEN ,  STOFFEL AXEL DR

IPC: H01F41/20 ,  C23C14/00 ,  H01F10/18 ,  C23C13/02

公开(公告)号：DE3068851D1

公开(公告)日：1984-09-13

申请号：DE3068851

申请日：1980-04-18

Applicant: IBM

Inventor： BUHNE JOACHIM ,  FROSCH ALBERT ,  SCHAFER ROLF DR ,  STOFFEL AXEL DR

IPC: C25F3/12 ,  C25F3/14 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3063