公开(公告)号：JPS63110657A

公开(公告)日：1988-05-16

申请号：JP22869087

申请日：1987-09-14

Applicant: IBM

Inventor： LU NICKY CHAU-CHUN ,  MACHESNEY BRIAN JOHN ,  MOHLER RICK LAWRENCE ,  MILES GLEN LESTER ,  TING CHUNG-YU ,  WARLEY STEPHEN DAVID

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/482 ,  H01L23/52 ,  H01L29/45

公开(公告)号：JPH0581169B2

公开(公告)日：1993-11-11

申请号：JP22869087

申请日：1987-09-14

Applicant: IBM

Inventor： LU NICKY CHAU-CHUN ,  MACHESNEY BRIAN JOHN ,  MOHLER RICK LAWRENCE ,  MILES GLEN LESTER ,  TING CHUNG-YU ,  WARLEY STEPHEN DAVID

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/482 ,  H01L23/52 ,  H01L29/45

公开(公告)号：DE3767962D1

公开(公告)日：1991-03-14

申请号：DE3767962

申请日：1987-10-02

Applicant: IBM

Inventor： LU NICKY CHAU-CHUN ,  MACHESNEY BRIAN JOHN ,  MOHLER RICK LAWRENCE ,  MILES GLEN LESTER ,  TING CHUNG-YU ,  WARLEY STEPHEN DAVID

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/482 ,  H01L23/52 ,  H01L29/45 ,  H01L21/285 ,  H01L29/62