公开(公告)号：DE69114346D1

公开(公告)日：1995-12-14

申请号：DE69114346

申请日：1991-04-13

Applicant: IBM

Inventor： CRONIN JOHN EDWARD ,  KAANTA CARTER WELLING ,  PREVITI-KELLY ROSEMARY ANN ,  RYAN JAMES GARDNER ,  LEE PEI-ING PAUL ,  YOON JUNG HOON

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/038 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H05K3/00 ,  H05K3/04 ,  H05K3/10 ,  H05K3/46 ,  H01L23/485

公开(公告)号：DE69114346T2

公开(公告)日：1996-06-20

申请号：DE69114346

申请日：1991-04-13

Applicant: IBM

Inventor： CRONIN JOHN EDWARD ,  KAANTA CARTER WELLING ,  PREVITI-KELLY ROSEMARY ANN ,  RYAN JAMES GARDNER ,  LEE PEI-ING PAUL ,  YOON JUNG HOON

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/038 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H05K3/00 ,  H05K3/04 ,  H05K3/10 ,  H05K3/46 ,  H01L23/485