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公开(公告)号:DE112014000923T5
公开(公告)日:2015-11-05
申请号:DE112014000923
申请日:2014-06-18
Applicant: IBM , SIX SEMICONDUTORES
Inventor: GUENZLER TOBIAS , KAIGALA GOVIND , TREIBER TINO , AZPIROZ JAIONE TIRAPU , DELAMARCHE EMMANUEL , TEMIZ YUKSEL
IPC: B01L3/00
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft vor allem einen Mikrofluidchip (1, 1a), aufweisend: einen Fließweg (22), der durch eine hydrophile Fläche definiert ist; einen Flüssigkeitseingang (24, 24a, 24b) auf einer Seite des Fließwegs; mindestens eine elektrische Schaltung (62), hier im Folgenden als DEP-Schaltung bezeichnet, welche mindestens ein Paar dielektrophoretischer Elektroden (E21, E22) aufweist, hier im Folgenden als DEP-Elektroden bezeichnet; wobei: sich jede der DEP-Elektroden quer zu dem Fließweg erstreckt; und die DEP-Schaltung so konfiguriert ist, dass sie auf der Höhe der DEP-Elektroden eine dielektrophoretische Kraft erzeugt, hier im Folgenden als DEP-Kraft bezeichnet. Der Chip kann ferner eine oder mehrere elektroosmotische Schaltungen aufweisen. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner Verfahren zum Betreiben eines solchen Mikrofluldchips.
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公开(公告)号:DE112014000923B4
公开(公告)日:2016-12-22
申请号:DE112014000923
申请日:2014-06-18
Applicant: IBM , SIX SEMICONDUTORES
Inventor: GUENZLER TOBIAS , KAIGALA GOVIND , TREIBER TINO , AZPIROZ JAIONE TIRAPU , DELAMARCHE EMMANUEL , TEMIZ YUKSEL
IPC: B81B1/00
Abstract: Mikrofluidchip (1, 1a), aufweisend: einen Fließweg (22), der durch eine hydrophile Fläche definiert ist; einen Flüssigkeitseingang (24, 24a, 24b) auf einer Seite des Fließwegs; mindestens eine elektrische Schaltung (62), hier im Folgenden als DEP-Schaltung bezeichnet, welche mindestens ein Paar dielektrophoretischer Elektroden (E21, E22) aufweist, hier im Folgenden als DEP-Elektroden bezeichnet; eine weitere elektrische Schaltung (64b, 64f), hier im Folgenden als EO-Schaltung bezeichnet, welche mindestens ein Paar elektroosmotischer Elektroden (E41, E42) aufweist, hier im Folgenden als EO-Elektroden bezeichnet, welche sich jeweils quer zu dem Fließweg erstrecken; mindestens eine weitere elektrische Schaltung (66, 76; 68, 78), hier im Folgenden als Steuerungsschaltung bezeichnet, welche mindestens ein Paar Steuerungselektroden (66, 68) aufweist, die sich in dem Fließweg erstrecken und ferner so konfiguriert sind, dass sie eine Veränderung einer elektrochemischen oder einer physikalischen Eigenschaft einer Flüssigkeit erfassen, die auf der Höhe des Steuerungselektrodenpaars fließt; wobei: sich jede der DEP-Elektroden quer zu dem Fließweg erstreckt; die DEP-Schaltung so konfiguriert ist, dass sie auf der Höhe der DEP-Elektroden eine dielektrophoretische Kraft erzeugt, hier im Folgenden als DEP-Kraft bezeichnet; sich das mindestens eine Paar DEP-Elektroden (E21, E22) und das mindestens eine Paar EO-Elektroden (E41, E42) an unterschiedlichen Stellen in dem Fließweg befinden; die EO-Schaltung so konfiguriert ist, dass sie eine elektroosmotische Kraft erzeugt, hier im Folgenden als EO-Kraft bezeichnet, wobei die EO-Schaltung vorzugsweise einen EO-Signalgenerator (74) aufweist, der in der EO-Schaltung verbunden ist, um der EO-Elektrode ein Wechselspannungssignal bereitzustellen, und ...
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公开(公告)号:DE112016000704T5
公开(公告)日:2017-10-19
申请号:DE112016000704
申请日:2016-03-16
Applicant: IBM
Inventor: TEMIZ YUKSEL , DELAMARCHE EMMANUEL
IPC: B01L3/00
Abstract: Eine Mikrofluidikeinheit und ein Verfahren zum Fertigen beinhalten einen Mikrofluidikkanal mit einem verschlossenen Abschnitt, der aufweist: einen Flüssigkeitsweg, der durch einen Benetzungsbereich ausgebildet ist, und einen Nichtbenetzungsbereich, der sich entlang des Flüssigkeitsweges und an diesen angrenzend erstreckt. Der Nichtbenetzungsbereich ist so gestaltet, dass er eine Entlüftung zum Entleeren eines Gases entlang des Nichtbenetzungsbereichs bereitstellt.
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公开(公告)号:GB2531452A
公开(公告)日:2016-04-20
申请号:GB201600188
申请日:2014-06-18
Applicant: IBM
Inventor: DELAMARCHE EMMANUEL , TEMIZ YUKSEL
IPC: B01L3/00
Abstract: The present invention is notably directed to methods of fabrication of a microfluidic chip package or assembly (1), comprising: providing (S1) a substrate (10, 30) having at least one block (14, 14a) comprising one or more microfluidic structures on a face (F) of the substrate; partially cutting (S2) into the substrate to obtain partial cuts (10c), such that a residual 6 thickness of the substrate at the level of the partial cuts (10c) enables singulation of said at least one block (14, 14a); cleaning (S4) said at least one block; and applying (S5 S7) a cover-film (62) to cover said at least one block (14, 14a), whereby at least one covered block is obtained, the applied cover film still enabling singulation of each covered block, wherein each covered block corresponds to a microfluidic chip after singulation. The present invention is further directed to microfluidic chips, packing or assembly, obtainable with such 12 methods.
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公开(公告)号:DE112015000920B4
公开(公告)日:2021-09-30
申请号:DE112015000920
申请日:2015-03-04
Applicant: IBM
Inventor: DELAMARCHE EMMANUEL , TEMIZ YUKSEL
IPC: G01N33/53 , G01N33/543 , G01N33/554 , H01L21/00
Abstract: Mikrofluid-Chip (100), der eine Schicht (10, 60) mit einer Anordnung (30) von Perlen (50) einfangenden Hohlräumen (20) aufweist, die in jener Schicht (10, 60) bereitgestellt sind, wobei die Schicht (10) ein oder mehrere Halbleiterelemente aufweist, wie beispielsweise Silicium, wobei jeder der Hohlräume (20) eine pyramidenförmige Gestalt aufweist, die durch wenigstens vier laterale Wände (21 bis 24) definiert ist, die jeweils hydrophil sind, wobei die pyramidenförmig gestalteten Hohlräume (20) eine Geometrie zeigen, die konsistent mit einem anisotropen Ätzprozess für eine Herstellung der Hohlräume (20) in der Schicht (10) ist, und wobei sich jeder der Hohlräume (20) als ein Blindloch in der Dicke der Schicht (10, 60) erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder mehr Untergruppen (32) aus wenigstens einem der Hohlräume (20), wobei die Untergruppen (32) bevorzugt Reihen oder Spalten der Anordnung (30) von Hohlräumen (20) sind, durch wenigstens einen Mikrokanal (14) verbunden sind, und wobei die eine oder die mehreren der Untergruppen (32) bevorzugter in einem Mikrokanal-Abschnitt (12a) definiert sind, dessen untere Wand oder dessen obere Wand von einer Oberfläche der Schicht (10) gebildet wird.
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公开(公告)号:DE112017004280T5
公开(公告)日:2019-05-29
申请号:DE112017004280
申请日:2017-10-19
Applicant: IBM
Inventor: TEMIZ YUKSEL , LIM MICHEL , DELAMARCHE EMMANUEL
IPC: B01L3/00
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere einen Mikrofluidik-Chip. Der Chip weist einen Mikrofluidik-Hauptkanal auf einer Seite des Chips und ein Perlenintegrationssystem auf. Das Perlenintegrationssystem ist auf der einen Seite des Chips angeordnet. Es weist einen Mikrofluidik-Hilfskanal quer zu dem Mikrofluidik-Hauptkanal und in Fluidkommunikation mit diesem auf, so dass eine Kreuzung mit diesem gebildet wird. Die Kreuzung ist durch strukturelle Elemente begrenzt, die in dem Mikrofluidik-Hauptkanal angeordnet sind. Die strukturellen Elemente sind so konfiguriert, dass sie an der Kreuzung Perlen zurückhalten, die in einer Perlensuspensionsflüssigkeit angeströmt werden, die sich in dem Mikrofluidik-Hilfskanal fortbewegt und die Kreuzung passiert. Außerdem sind solche strukturellen Elemente so konfiguriert, dass sie Flüssigkeit, die sich in dem Mikrofluidik-Hauptkanal fortbewegt, die Kreuzung durch die strukturellen Elemente hindurch passieren lassen. Die Erfindung betrifft ferner darauf bezogene Vorrichtungen und Verfahren.
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公开(公告)号:DE112021000421T5
公开(公告)日:2022-10-06
申请号:DE112021000421
申请日:2021-02-15
Applicant: IBM
Inventor: LOVCHIK ROBERT DEAN , WEISS JONAS , TEMIZ YUKSEL , DELAMARCHE EMMANUEL
Abstract: Technologie für ein Verwalten von Objekten. Ein Verfahren wird auf einen Satz von Objekten angewendet, zum Beispiel im Hinblick darauf, derartige Objekte zu kommissionieren. Das Verfahren weist ein Strukturieren einer Oberfläche jedes Objekts eines zu verwaltenden Satzes von Objekten auf. Das Strukturieren wird durch Verwenden von harten Partikeln erreicht, um Einkerbungen in einer Oberfläche jedes Objekts des Satzes von Objekten herzustellen, wobei es sich bei der auf jedem Objekt gebildeten Struktur um einen unverwechselbaren physischen Fingerabdruck handelt, der dazu verwendet werden kann, das Objekt zu identifizieren, wenn ein Verwaltungsverfahren/verschiedene Verwaltungsverfahren in Bezug auf die Objekte durchgeführt wird/werden.
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公开(公告)号:AU2021243749A1
公开(公告)日:2022-09-01
申请号:AU2021243749
申请日:2021-02-15
Applicant: IBM
Inventor: LOVCHIK ROBERT DEAN , WEISS JONAS , TEMIZ YUKSEL , DELAMARCHE EMMANUEL
Abstract: Technology for managing objects. A method is applied to a set of objects, for example, in view of commissioning such objects. The method includes patterning a surface of each object of a set of objects to be managed. The patterning is accomplished by using hard particles to make indentations in a surface of each object of the set of object, with the pattern formed on each object being a unique physical fingerprint that can be used to identify the object when performing various manage method(s) on the objects
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公开(公告)号:DE112016003247T5
公开(公告)日:2018-04-05
申请号:DE112016003247
申请日:2016-10-13
Applicant: IBM
Inventor: DELAMARCHE EMMANUEL , TEMIZ YUKSEL
Abstract: Ein mikrofluidischer Chip (10) weist einen Mikrokanal (11, 11a), der mit einer Flüssigkeit (5) füllbar ist, wobei der Mikrokanal (11, 11a) ein Elektrodenpaar (21, 22, 21a, 22a) und einen Flüssigkeitsströmungsweg (12) aufweist, der zwischen den Elektroden (21, 22, 21a, 22a) definiert ist, wobei sich jede der Elektroden (21, 22, 21a, 22a) entlang des Strömungsweges (12) und parallel zu einer Richtung einer Flüssigkeit (5) erstreckt, die im Betrieb jeden der Mikrokanäle (11, 11a) füllt, und eine elektrische Schaltungsanordnung auf, die mit jeder der Elektroden (21, 22, 21a, 22a) verbunden ist und konfiguriert ist, um im Betrieb über die Elektroden (21, 22, 21a, 22a) eine Kapazität der Elektroden, die mit einer Flüssigkeit (5) benetzt sind, die den Strömungsweg (12) kontinuierlich füllt, als eine Funktion der Zeit zu messen.
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公开(公告)号:GB2515571A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:GB201311676
申请日:2013-06-28
Applicant: IBM , SIX SEMICONDUCTORES
Inventor: DELAMARCHE EMMANUEL , GUENZLER TOBIAS , TEMIZ YUKSEL , TREIBER TINO
IPC: B01L1/00
Abstract: A method of fabrication of a microfluidic chip comprises providing a substrate (10, figure 1), a face of which is covered by an electrically insulating layer 30, obtaining a resist layer (40, figure 9) covering one or more selected portions of the electrically insulating layer, at least a remaining portion of said electrically insulating layer not being covered by the resist layer, partially etching with a wet etchant a surface of the remaining portion of the electrically insulating layer to create a recess (40r) and/or an undercut (40u) under the resist layer, depositing an electrically conductive layer 50 on the etched surface (35) such that the electrically conductive layer reaches the created recess and/or undercut and removing the resist layer to expose a portion of the electrically insulating layer adjoining a contiguous portion of the electrically conductive layer. Also disclosed is a microfluidic chip obtainable by the method of the invention comprising an electrically conductive layer covering at least partly an electrically insulating layer, wherein an exposed surface of the electrically conductive layer adjoins an exposed surface of a contiguous portion of the electrically insulating layer.
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