公开(公告)号：DE102018118724B4

公开(公告)日：2021-04-15

申请号：DE102018118724

申请日：2018-08-01

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： LIEBL WOLFGANG ,  ALMSTAETTER STEFAN ,  ARKENAU JENS ,  BOECK JOSEF ,  LEUSCHNER RAINER ,  MACKH GUNTHER

IPC: H01L27/118 ,  H01L27/08

Abstract: Ein Verfahren (100) zum Programmieren einer einmalig programmierbaren Struktur (220), das Verfahren (100) umfassend:Herstellen (110) einer elektrischen Schaltung (210) mit der einmalig programmierbaren Struktur (220); undDurchtrennen (120) der einmalig programmierbaren Struktur (220) durch Ätzen der einmalig programmierbaren Struktur (220) in einem Trennbereich (230),wobei durch das Durchtrennen (120) der einmalig programmierbaren Struktur (220) eine elektrische Eigenschaft der elektrischen Schaltung (210) verändert wird, wobei die elektrische Eigenschaft ein Wert einer Induktivität der elektrischen Schaltung (210) ist.

公开(公告)号：DE102018118724A1

公开(公告)日：2020-02-06

申请号：DE102018118724

申请日：2018-08-01

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： LIEBL WOLFGANG ,  ALMSTAETTER STEFAN ,  ARKENAU JENS ,  BOECK JOSEF ,  LEUSCHNER RAINER ,  MACKH GUNTHER

IPC: H01L27/118

Abstract: Es wird ein Verfahren (100) zum Programmieren einer einmalig programmierbaren Struktur (220) vorgeschlagen. Das Verfahren (100) umfasst ein Herstellen (110) einer elektrischen Schaltung (210) mit der einmalig programmierbaren Struktur (220). Das Verfahren (100) umfasst ferner ein Durchtrennen (120) der einmalig programmierbaren Struktur (220) durch Ätzen der einmalig programmierbaren Struktur (220) in einem Trennbereich (230).