公开(公告)号：DE102018117393A1

公开(公告)日：2020-01-23

申请号：DE102018117393

申请日：2018-07-18

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： LEITGEB WALTER ,  BRUNNER DANIEL ,  FERLAN LUKAS ,  OTTOWITZ MARKUS ,  GOLLER BERNHARD

IPC: H01L21/683

Abstract: Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Auflagetisch (100) Folgendes aufweisen: eine Grundplatte (102), die eine Stützstruktur (104) aufweist, wobei die Stützstruktur (104) einen Stützbereich (104r) über der Grundplatte (102) zum Stützen mindestens eines von einem Werkstück oder einem Werkstückträger (200) darin definiert; und eine oder mehrere lichtemittierende Komponenten (106), die zwischen der Grundplatte (102) und dem Stützbereich (104r) angeordnet sind, wobei die eine oder mehreren lichtemittierenden Komponenten (106) dazu ausgebildet sind, Licht in den Stützbereich (104r) zu emittieren.