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公开(公告)号：DE10131187C2
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：DE10131187
申请日：2001-06-28
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： FRANKE THORSTEN , VERBEEK MARTIN , SEMMLER ARMIN , HAFFNER HENNING
IPC: G03F1/00
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公开(公告)号：DE10131187A1
公开(公告)日：2003-01-30
申请号：DE10131187
申请日：2001-06-28
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： FRANKE THORSTEN , VERBEEK MARTIN , SEMMLER ARMIN , HAFFNER HENNING
IPC: G03F1/00
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