公开(公告)号：DE102016118204B4

公开(公告)日：2025-01-02

申请号：DE102016118204

申请日：2016-09-27

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： GANAGONA NAVEEN ,  SCHULZE HANS-JOACHIM ,  ÖFNER HELMUT ,  JELINEK MORIZ ,  SCHUSTEREDER WERNER

IPC: G01N21/35 ,  C30B15/04 ,  C30B29/06 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/63

Abstract: Verfahren zum Bestimmen des Kohlenstoff-Gehalts in einer Silizium-Probe (102), das Verfahren Folgendes umfassend:Erzeugen elektrisch aktiver polyatomarer Komplexe innerhalb der Silizium-Probe (102),wobei die polyatomaren Komplexe mindestens ein Kohlenstoff-Atom, mindestens ein Sauerstoff-Atom und mindestens ein Wasserstoff-Atom umfassen;Bestimmen einer Quantität, welche für den Gehalt der erzeugten polyatomaren Komplexe in der Silizium-Probe (102) bezeichnend ist; undBestimmen des Kohlenstoff-Gehalts in der Silizium-Probe (102) aus der bestimmten Quantität,wobei mindestens einige der polyatomaren Komplexe als flache Donatoren konfiguriert sind.

公开(公告)号：DE102016118204A1

公开(公告)日：2018-03-29

申请号：DE102016118204

申请日：2016-09-27

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： GANAGONA NAVEEN ,  SCHULZE HANS-JOACHIM ,  ÖFNER HELMUT ,  JELINEK MORIZ ,  SCHUSTEREDER WERNER

IPC: G01N21/35 ,  C30B15/04 ,  C30B29/06 ,  G01N21/63

Abstract: Ein Verfahren zum Bestimmen des Kohlenstoff-Gehalts in einer Silizium-Probe kann umfassen: Erzeugen elektrisch aktiver polyatomarer Komplexe innerhalb der Silizium-Probe. Jeder polyatomare Komplex kann mindestens ein Kohlenstoff-Atom umfassen. Das Verfahren kann weiterhin umfassen: Bestimmen einer Quantität, welche für den Gehalt der erzeugten polyatomaren Komplexe in der Silizium-Probe bezeichnend ist, und Bestimmen des Kohlenstoff-Gehalts in der Silizium-Probe aus der bestimmten Quantität.