公开(公告)号：DE102019134279B3

公开(公告)日：2021-05-27

申请号：DE102019134279

申请日：2019-12-13

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： SCHALLER RAINER MARKUS ,  GASSNER SIMON ,  KOLB STEFAN ,  THEUSS HORST ,  EBERL MATTHIAS ,  JOST FRANZ ,  DANGELMAIER JOCHEN

IPC: B81B7/02 ,  G01N21/17 ,  G01N21/3504

Abstract: Ein photoakustischer Sensor umfasst ein erstes MEMS-Bauelement und ein zweites MEMS-Bauelement. Das erste MEMS-Bauelement umfasst eine erste MEMS-Komponente, die einen optischen Emitter umfasst, und einen an die erste MEMS-Komponente wafer-gebondeten ersten optisch transparenten Deckel, wobei die erste MEMS-Komponente und der erste optisch transparente Deckel einen ersten geschlossenen Hohlraum ausbilden. Das zweite MEMS-Bauelement umfasst eine zweite MEMS-Komponente, die einen Druckaufnehmer umfasst, und einen an die zweite MEMS-Komponente wafer-gebondeten zweiten optisch transparenten Deckel, wobei die zweite MEMS-Komponente und der zweite optisch transparente Deckel einen zweiten geschlossenen Hohlraum ausbilden.

公开(公告)号：DE102019134267A1

公开(公告)日：2021-06-17

申请号：DE102019134267

申请日：2019-12-13

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： SCHALLER RAINER MARKUS ,  KOLB STEFAN ,  EBERL MATTHIAS ,  JOST FRANZ ,  GASSNER SIMON

IPC: G01N21/17 ,  B81B7/02 ,  G01N21/3504

Abstract: Eine photoakustische Detektoreinheit umfasst ein Gehäuse mit einer Öffnung sowie einen photoakustischen Wandler, der dazu ausgelegt ist, optische Strahlung in zumindest eines von einem Drucksignal oder einem Wärmesignal umzuwandeln. Der photoakustische Wandler deckt die Öffnung des Gehäuses ab, so dass der photoakustische Wandler und das Gehäuse einen akustisch dichten Hohlraum ausbilden. In dem akustisch dichten Hohlraum ist ein Druckaufnehmer angeordnet.