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    EIN VERFAHREN ZUM BEREITSTELLEN EINES PLANARISIERBAREN WERKSTÜCKTRÄGERS, EINE WERKSTÜCKPLANARISIERUNGSANORDNUNG UND EIN CHUCK
    2.
    发明专利
    EIN VERFAHREN ZUM BEREITSTELLEN EINES PLANARISIERBAREN WERKSTÜCKTRÄGERS, EINE WERKSTÜCKPLANARISIERUNGSANORDNUNG UND EIN CHUCK 未知

    公开(公告)号：DE102017105000B4

    公开(公告)日：2025-03-13

    申请号：DE102017105000

    申请日：2017-03-09

    Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

    Inventor： MURI INGO ,  BINTER ALEXANDER ,  GOLLER BERNHARD ,  GRINDLING CHRISTIAN

    IPC: B24B37/04 ,  B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  H01L21/304

    Abstract: Werkstückplanarisierungsanordnung (100), aufweisend:einen Chuck (102), der einen Stützträger (102c) und einen Werkstückträger (102s) umfasst, wobei der Werkstückträger (102s) zumindest einen zum Tragen von einem odermehreren Werkstücken (106) konfigurierten Abschnitt (102p) aufweist, wobei der zumindest eine Abschnitt (102p) eine Trägeroberfläche (122s) aufweist, die konfiguriert ist, einen physischen Kontakt mit dem einen oder mehreren Werkstücken (106) bereitzustellen; undein Planarisierungswerkzeug (104), das konfiguriert ist, die Trägeroberfläche (122s) des zumindest einen Abschnitts (102p) des Chucks (102) zu planarisieren und ein odermehrere Werkstücke (106) auf dem zumindest einen Abschnitt (102p) des Chucks (102) zu planarisieren;wobei der zumindest eine Abschnitt (102p) des Chucks (102) zumindest eines von Partikeln, Poren und/oder einem Polymer aufweist,wobei eine mechanische Härte des zumindest einen Abschnitts (102p) kleiner als eine mechanische Härte des Stützträgers (102c) ist.

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