公开(公告)号：DE102014110358A1

公开(公告)日：2015-01-29

申请号：DE102014110358

申请日：2014-07-23

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： FRANK MANFRED ,  HESS EVA-MARIA ,  KRENZER MICHAEL ,  KUNSTMANN THOMAS

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/283 ,  H01L21/306 ,  H01L21/60 ,  H01L23/36 ,  H01L23/48

Abstract: Ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks (101) kann Folgendes beinhalten: Bereitstellen eines Werkstücks (101), das eine erste Region (103) und eine zweite Region (105) beinhaltet; Ausbilden einer porösen Metallschicht (107) über der ersten Region (103) und der zweiten Region (105); wobei die erste Region (103) und die zweite Region (105) so gestaltet sind, dass eine Haftkraft zwischen der zweiten Region (105) und der porösen Metallschicht (107) geringer ist als eine Haftkraft zwischen der ersten Region (103) und der porösen Metallschicht (107).