公开(公告)号：DE10349582B4

公开(公告)日：2008-09-25

申请号：DE10349582

申请日：2003-10-24

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MAUDER ANTON DR-ING ,  HILLE FRANK ,  VYTLA RAJEEV KRISHNA ,  FALCK ELMAR ,  SCHULZE HANS-JOACHIM ,  NIEDERNOSTHEIDE FRANZ-JOSEF ,  STRACK HELMUT

IPC: H01L29/861 ,  H01L21/26 ,  H01L21/329 ,  H01L29/32

公开(公告)号：DE10349582A1

公开(公告)日：2005-06-02

申请号：DE10349582

申请日：2003-10-24

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MAUDER ANTON DR-ING ,  HILLE FRANK ,  VYTLA RAJEEV KRISHNA ,  FALCK ELMAR ,  SCHULZE HANS-JOACHIM ,  NIEDERNOSTHEIDE FRANZ-JOSEF ,  STRACK HELMUT

IPC: H01L21/329 ,  H01L29/32 ,  H01L29/861