公开(公告)号：DE102016112871A1

公开(公告)日：2017-02-02

申请号：DE102016112871

申请日：2016-07-13

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： HOLWEG GERALD ,  RAJARAMAN VIJAYE KUMAR ,  ARNANTHIGO YONSUANG ,  BERGER JAN ,  STRANZL GUDRUN ,  OSTERMANN THOMAS ,  DA SILVA SYLVICLEY FIGUEIRA ,  DENIFL GÜNTER ,  MODER IRIS ,  OSWATITSCH ALEXANDER

IPC: B01D61/14 ,  B81B1/00 ,  G01N33/49

Abstract: Eine Mikrofiltrationsvorrichtung (100) umfasst ein Substrat mit einer ersten Oberfläche und einer der ersten Oberfläche gegenüberliegenden zweiten Oberfläche. Das Substrat umfasst einen Hohlraum (120) zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche. Das Substrat umfasst ferner einen Mikrofilter (130), der einen Rahmenteil (140) in Kontakt mit dem Substrat und einen an den Hohlraum (120) angrenzenden Filterteil (150) umfasst. Der Mikrofilter (130) weist in sowohl dem Rahmenteil (140) als auch dem Filterteil (150) ein halbleitendes oder leitendes Material auf.