公开(公告)号：KR20180031060A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：KR20187007275

申请日：2016-08-13

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： CHUANG YUNG HO ALEX ,  BROWN DAVID L ,  CONTARATO DEVIS ,  FIELDEN JOHN ,  KAVALDJIEV DANIEL IVANOV ,  ZHAO GUOHENG ,  CHERN JEHN HUAR HOWARD ,  ZHENG GUOWU ,  PETTIBONE DONALD ,  BIELLAK STEPHEN

IPC: G01N21/17 ,  G01J1/02 ,  G01N21/88 ,  H04N5/367

CPC classification number: H04N5/335 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/95676 ,  H04N5/2256 ,  H04N5/347

Abstract: 이미지센서에의해캡쳐되는아날로그이미지데이터값(전하)이, 이미지센서의출력감지노드(부유확산부) 상에서출력신호로서전송되기이전에또는전송되는동안비닝(결합)되고, ADC가출력감지노드각각의리셋사이에서복수의대응하는디지털이미지데이터값을순차적으로생성하도록제어되는검사시스템및 방법. 출력비닝방법에따르면, 이미지센서는각각의리셋사이에서출력감지노드상으로복수의전하를순차적으로전송하도록구동되고, ADC는, 각각의전하가출력감지노드상으로전송된이후, 점진적으로증가하는출력신호를변환하도록제어된다. 다중샘플링방법에따르면, 출력감지노드로전송되기이전에복수의전하는수직으로또는수평으로비닝(합산/결합)되고, ADC는각각의대응하는출력신호를복수회 샘플링한다. 출력비닝및 다중샘플링방법은결합될수도있다.

Abstract translation: 的模拟图像数据值（电荷）由图像传感器（副浮动扩散）的图像传感器中，每个ADC失控力感测节点的被捕获，和分级（组合的），而转移或传输到作为输出感测节点上的输出信号被发送 并且在该组图像之间顺序地生成多个对应的数字图像数据值。 根据该功率比紧固方法，该图像传感器驱动到多个中的电荷传输到每个复位序列，ADC之间的输出感测节点，每次充电以后发送到输出感测节点，以逐渐增加的 并被控制来转换输出信号。 根据多重采样方法，多个电荷在被发送到输出感测节点之前被垂直或水平地合并（相加/组合），并且ADC对多个相应的输出信号进行采样。 输出分箱和多种采样方法可以结合使用。

公开(公告)号：EP2758994A4

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：EP12834072

申请日：2012-09-19

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BROWN DAVID L ,  ZHENG GUOWU ,  CHUANG YUNG-HO ALEX ,  IYER VENKATRAMAN

IPC: H01L27/148 ,  G01N21/95 ,  H01L27/146 ,  H04N5/335 ,  H04N5/369 ,  H05K13/00

CPC classification number: H01L27/14636 ,  G01N21/9501 ,  H01L27/14618 ,  H01L27/14634 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14806 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/19105 ,  H04N5/3355 ,  H04N5/369 ,  H05K13/0023 ,  Y10T29/49117