PHOTODETECTEUR A BASE DE GERMANIUM A BASSE TENSION, A GAIN ELEVE ET A VITESSE ELEVEE ET SON PROCEDE DE FABRICATION

    公开(公告)号:FR2994617A1

    公开(公告)日:2014-02-21

    申请号:FR1357797

    申请日:2013-08-06

    Abstract: La présente invention concerne un photodétecteur à semi-conducteur contenant du germanium, ayant pour base une tranche de silicium, conçu pour présenter comme propriétés un gain élevé, une sensibilité élevée et une vitesse élevée à une tension relativement basse. Une couche de multiplication de porteurs (20) à base de germanium (par exemple, une couche de germanium individuelle ou une couche à super-réseau de germanium et de silicium) peut être formée sur une tranche de silicium, une couche de charges (22) à base de germanium peut être formée sur la couche de multiplication de porteurs, une couche d'absorption (30) à base de germanium peut être formée sur la couche de charges et une seconde couche de contact (32) à base de polysilicium peut être formée sur la couche d'absorption. La couche d'absorption (30) peut être conçue de façon à inclure des points ou fils quantiques à base de germanium.

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