公开(公告)号：KR20100026065A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：KR20080084894

申请日：2008-08-29

Applicant: KOREA RES INST OF STANDARDS

Inventor： BAE MOON SEOB ,  LEE HWACK JOO ,  CHO YANG KOO

IPC: G02B21/36

CPC classification number: H01J37/28 ,  G02B21/0036 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/221

Abstract: PURPOSE: An apparatus for scan generation of scanning electron microscope is provided to implement an image processing without a delay in real time by processing an image obtained by electronic beam and generation. CONSTITUTION: A scan image control processor(110) controls the scan signal and image signal. A programmable timer counter(120) generates a clock control signal, and a specific clock. According to the FIFO(File Input File Output), a scan control logic(130) generates a mode control signal, a scan control signal. A high speed ADC(Analog Digital Converter)(160) outputs the inputted analog signal to the digital image signal. An image FIFO(170) is controlled with the FIFO scan control logic. The video signal is outputted to the scan image control processor.

Abstract translation: 目的：提供一种用于扫描电子显微镜扫描生成的装置，通过处理通过电子束获得的图像和产生来实时实时地进行图像处理。 构成：扫描图像控制处理器（110）控制扫描信号和图像信号。 可编程定时器计数器（120）产生时钟控制信号和特定时钟。 根据FIFO（文件输入文件输出），扫描控制逻辑（130）产生模式控制信号，扫描控制信号。 高速ADC（模拟数字转换器）（160）将输入的模拟信号输出到数字图像信号。 图像FIFO（170）由FIFO扫描控制逻辑控制。 视频信号被输出到扫描图像控制处理器。