公开(公告)号：KR20200142088A

公开(公告)日：2020-12-21

申请号：KR20207034799

申请日：2019-04-23

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： LILL THORSTEN ,  FISCHER ANDREAS ,  BERRY III IVAN L ,  DRAEGER NERISSA SUE ,  GOTTSCHO RICHARD A

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  H01L21/324

Abstract: 열적에칭반응의에칭은머신러닝모델을사용하여예측된다. 미리결정된열적에칭반응의하나이상의반응경로들의에칭프로세스및 연관된에너지들의화학적특성들이양자역학시뮬레이션을사용하여식별된다. 에칭특성들을나타내는라벨들이미리결정된열적에칭반응의화학적특성들및 연관된에너지들과연관될수도있다. 머신러닝모델은상이한타입들의많은상이한에칭반응들에걸쳐독립변수들로서화학적특성들및 연관된에너지들및 종속변수들로서라벨들을사용하여트레이닝될수 있다. 신규열적에칭반응에대한화학적특성들및 연관된에너지들이머신러닝모델의입력들로서제공될때, 머신러닝모델은출력들로서신규열적에칭반응의에칭특성들을정확하게예측할수 있다.