公开(公告)号：DE102014110208A1

公开(公告)日：2016-01-21

申请号：DE102014110208

申请日：2014-07-21

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： SCHULZ CHRISTIAN ,  SCHUMANN CHRISTIAN ,  GONSCHIOR CORNELL ,  BAUER TOBIAS

IPC: G02B21/02 ,  G02B3/04 ,  G02B21/24

Abstract: Beschrieben ist ein Mikroskop (21, 40, 60) mit mindestens einer in einem Strahlengang angeordneten Korrektionseinheit (10) zum Korrigieren eines veränderlichen sphärischen Abbildungsfehlers. Die Korrektionseinheit (10) umfasst mindestens ein optisches Korrektionselement (12), das in einem konvergenten oder divergenten Bereich (14) des Strahlengangs längs der optischen Achse (O) verschiebbar angeordnet ist. Das optische Korrektionselement (12) hat eine Korrektionsfläche (18), deren von dem konvergenten oder divergenten Bereich (14) des Strahlengangs durchsetzter Teil einen korrektionswirksamen Flächenabschnitt (20) bildet, dessen radiale Ausdehnung quer zur optischen Achse (O) durch Verschieben des Korrektionselementes (12) längs der optischen Achse (O) änderbar ist.

公开(公告)号：DE102014110208B4

公开(公告)日：2022-05-25

申请号：DE102014110208

申请日：2014-07-21

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： SCHULZ CHRISTIAN ,  SCHUMANN CHRISTIAN ,  GONSCHIOR CORNELL ,  BAUER TOBIAS

IPC: G02B21/02 ,  G02B3/04 ,  G02B13/18 ,  G02B21/24 ,  G02B27/42

Abstract: Abtastmikroskop (21) mit einem Abtastmodul (26), einem Hauptstrahlteiler (24) und mindestens einer in einem Strahlengang angeordneten Korrektionseinheit (10) zum Korrigieren eines veränderlichen sphärischen Abbildungsfehlers, wobei die mindestens eine Korrektionseinheit (10) zwischen dem Hauptstrahlteiler (24) und dem Abtastmodul (26) angeordnet ist,die mindestens eine Korrektionseinheit (10) mindestens ein optisches Korrektionselement (12) umfasst, das in einem konvergenten oder divergenten Bereich (14) des Strahlengangs längs der optischen Achse (O) verschiebbar angeordnet ist, unddas optische Korrektionselement eine Korrektionsfläche (18) aufweist, deren von dem konvergenten oder divergenten Bereich (14) des Strahlengangs durchsetzter Teil einen korrektionswirksamen Abschnitt (20) bildet, dessen radiale Ausdehnung quer zur optischen Achse (O) durch Verschieben des Korrektionselementes (12) längs der optischen Achse (O) änderbar ist.