公开(公告)号：DE112013006000T5

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：DE112013006000

申请日：2013-12-09

Applicant: LUXVUE TECHNOLOGY CORP

Inventor： GOLDA DARIUSZ ,  HIGGINSON JOHN A ,  BIBL ANDREAS

IPC: H01L21/677 ,  B65G47/90 ,  B65G49/07

Abstract: Es werden Systeme und Verfahren zum Übertragen einer Mikrovorrichtung von einem Trägersubstrat offenbart. In einer Ausführungsform weist eine Mikroaufnahmegruppierungshalterung eine Schwenkplattform auf, um einer Mikroaufnahmegruppierung eine automatische Ausrichtung mit einem Trägersubstrat zu ermöglichen. Ablenkung der Schwenkplattform kann erkannt werden, um weitere Bewegung der Mikroaufnahmegruppierung zu steuern.

公开(公告)号：EP2834840A4

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：EP13794179

申请日：2013-05-16

Applicant: LUXVUE TECHNOLOGY CORP

Inventor： GOLDA DARIUSZ ,  BIBL ANDREAS

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81C99/0025 ,  B81C2201/0194 ,  H01L21/67144 ,  H01L24/75 ,  H01L2224/7598