公开(公告)号：SE339268B

公开(公告)日：1971-10-04

申请号：SE622367

申请日：1967-05-02

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： ARITA S

IPC: H01L23/485 ,  H01L27/02 ,  H01L11/14

公开(公告)号：SE324186B

公开(公告)日：1970-05-25

申请号：SE397467

申请日：1967-03-21

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： ARITA S ,  KAMEI I ,  OKUMURA T

IPC: H01L21/306 ,  C23F1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/033 ,  H01L21/316 ,  H01L23/29 ,  H01L7/50