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发明专利
VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG EINER HALBLEITEROBERFLÄCHE UND HALBLEITERKÖRPER MIT EINER HALBLEITEROBERFLÄCHE, DIE ZUMINDEST EINE STRUKTUR AUFWEIST 未知

公开(公告)号：DE112020001348A5

公开(公告)日：2021-11-25

申请号：DE112020001348

申请日：2020-03-13

Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH

Inventor： TAUTZ MARKUS , DAVIES MATTHEW JOHN , WELZEL MARTIN

IPC: H01L21/306 , H01L21/26 , H01L29/06 , H01L33/22

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