Kantenemittierender Halbleiterlaser und Betriebsverfahren für einen solchen Halbleiterlaser

    公开(公告)号:DE102017112610A1

    公开(公告)日:2018-12-13

    申请号:DE102017112610

    申请日:2017-06-08

    Inventor: FUCHS PETER

    Abstract: In einer Ausführungsform umfasst der kantenemittierende Halbleiterlaser (1) eine Halbleiterschichtenfolge (2) mit einer aktiven Zone (22) zur Erzeugung von Laserstrahlung (L). An der Halbleiterschichtenfolge (2) ist eine Facette (3) zur Auskopplung und/oder Reflexion der Laserstrahlung (L) gebildet. Direkt an der Facette (3) befindet sich eine Schutzschichtenfolge (4) zum Schutz der Facette (3) vor Beschädigungen. Die Schutzschichtenfolge (4) weist in Richtung weg von der Halbleiterschichtenfolge (2) eine monokristalline Startschicht (41), eine Zwischenschicht (42) mit mindestens einem Gruppe 14-Material sowie mindestens eine Abschlussschicht (43) aus einem Nitrid, Oxid oder Oxynitrid auf. Die Startschicht (41), die Zwischenschicht (42) sowie die Abschlussschicht (43) sind paarweise aus verschiedenen Materialsystemen hergestellt.

Patent Agency Ranking