公开(公告)号：CN103890895B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201180073721.X

申请日：2011-09-28

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 金锡 ,  安宰亨 ,  金宰湖

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24495

Abstract: 本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，本发明的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源产生的原电子(Primary Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：维恩速度过滤部，配置在所述光源和所述试样之间，产生磁场及电场，从而将所述发射电子分离为次级电子(Secondary Electron)和反射电子(Back Scattered Electron)；和探测部，分别探测从所述维恩速度过滤部分离的次级电子和反射电子。由此，提供一种通过使用维恩速度过滤器，能够分离并探测次级电子和反射电子的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜。

公开(公告)号：CN103890895A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201180073721.X

申请日：2011-09-28

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 金锡 ,  安宰亨 ,  金宰湖

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24495

Abstract: 本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，本发明的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源产生的原电子(Primary？Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：维恩速度过滤部，配置在所述光源和所述试样之间，产生磁场及电场，从而将所述发射电子分离为次级电子(Secondary？Electron)和反射电子(Back？Scattered？Electron)；和探测部，分别探测从所述维恩速度过滤部分离的次级电子和反射电子。由此，提供一种通过使用维恩速度过滤器，能够分离并探测次级电子和反射电子的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜。