PROCEDE D'AMINCISSEMENT D'UNE TRANCHE SEMICONDUCTRICE

    公开(公告)号:FR2995133A1

    公开(公告)日:2014-03-07

    申请号:FR1258149

    申请日:2012-08-31

    Abstract: L'invention concerne un procédé d'amincissement d'une tranche semiconductrice (W1) comprenant les étapes suivantes : former des composants et des niveaux d'interconnexion (IL) sur la face avant de la tranche ; creuser une rainure à partir de la face avant à la périphérie de la tranche et déposer une couche de protection (14) au moins sur les flancs de la rainure ; coller la tranche (W1) sur un support (W2) de mêmes dimensions ; et amincir la tranche (W1) à partir de sa face arrière au moins jusqu'à atteindre le fond de ladite rainure.

    CELLULE MEMOIRE A CHANGEMENT DE PHASE

    公开(公告)号:FR3056826B1

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:FR1659175

    申请日:2016-09-28

    Abstract: L'invention concerne un ensemble de deux cellules mémoire à changement de phase comprenant : deux premiers vias (32, 33) en un premier métal tel que le tungstène ; un via central (34) situé entre les premiers vias (32, 33), la partie inférieure du via central (34) étant en le premier métal et sa partie supérieure (44) en un second métal tel que le cuivre ; un élément résistif (48) sur chacun des premiers vias (32, 33) ; et une couche de matériau à changement de phase en contact avec des sommets des éléments résistifs (48).

    CELLULE MEMOIRE A CHANGEMENT DE PHASE

    公开(公告)号:FR3056826A1

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:FR1659175

    申请日:2016-09-28

    Abstract: L'invention concerne un ensemble de deux cellules mémoire à changement de phase comprenant : deux premiers vias (32, 33) en un premier métal tel que le tungstène ; un via central (34) situé entre les premiers vias (32, 33), la partie inférieure du via central (34) étant en le premier métal et sa partie supérieure (44) en un second métal tel que le cuivre ; un élément résistif (48) sur chacun des premiers vias (32, 33) ; et une couche de matériau à changement de phase en contact avec des sommets des éléments résistifs (48).

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