公开(公告)号：FR3018631A1

公开(公告)日：2015-09-18

申请号：FR1452010

申请日：2014-03-11

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  ST MICROELECTRONICS CROLLES 2

Inventor： ANCEY PASCAL ,  GOUSSEAU SIMON ,  KOKSHAGINA OLGA

IPC: H01L23/427

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un caloduc (130), comportant les étapes suivantes : a) former dans un substrat (100) une ouverture cylindrique (107) munie d'une pluralité de renfoncements annulaires s'étendant radialement autour d'un axe central de l'ouverture (107) ; b) disposer dans les renfoncements des bandes annulaires (115) disjointes en un matériau catalyseur pour la croissance de nanotubes de carbone ; et c) faire croitre des nanotubes de carbone (117) dans l'ouverture (107) à partir desdites bandes annulaires (115).

公开(公告)号：FR3006807A1

公开(公告)日：2014-12-12

申请号：FR1355220

申请日：2013-06-06

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 ,  ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： BAR PIERRE ,  GOUSSEAU SIMON ,  BEILLIARD YANN

IPC: H01L23/52 ,  H01L23/36

Abstract: Procédé de réalisation d'au moins une liaison traversante électriquement conductrice (LTE) au sein d'un support (SUP), comprenant : - une formation d'une cavité (CV) dans le support depuis une première face (BF) du support jusqu'à déboucher sur une portion électriquement conductrice (POR), - une formation d'une couche électriquement conductrice (CEE) au fond et sur les parois de la cavité et au moins partiellement sur la première face à l'extérieur de la cavité, Le procédé comprend en outre un remplissage au moins partiel de ladite cavité par au moins un matériau à changement de phase (MAT). L'invention vise également une structure intégrée tridimensionnelle.

公开(公告)号：FR3018631B1

公开(公告)日：2016-04-29

申请号：FR1452010

申请日：2014-03-11

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS

Inventor： ANCEY PASCAL ,  GOUSSEAU SIMON ,  KOKSHAGINA OLGA

IPC: H01L23/427