公开(公告)号：WO2013064978A1

公开(公告)日：2013-05-10

申请号：PCT/IB2012/056021

申请日：2012-10-30

Applicant: STMICROELECTRONICS S.R.L.

Inventor： CAMPEDELLI, Roberto ,  PEZZUTO, Raffaella ,  LOSA, Stefano ,  MANTOVANI, Marco ,  AZPEITIA URQUIA, Mikel

IPC: B81B7/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: B81B7/0006 ,  B81B3/0086 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2207/07 ,  B81B2207/097 ,  B81C1/00476 ,  H01L29/84

Abstract: A MEMS device (17) formed by a body (2); a cavity (25), extending above the body; mobile and fixed structures (18, 19) extending above the cavity and physically connected to the body via anchoring regions (16); and electrical-connection regions (10a, 10b, 10c), extending between the body (2) and the anchoring regions (16) and electrically connected to the mobile and fixed structures. The electrical-connection regions (10a, 10b, 10c) are formed by a conductive multilayer including a first semiconductor material layer (5), a composite layer (6) of a binary compound of the semiconductor material and of a transition metal, and a second semiconductor material layer (7).

Abstract translation: 由主体（2）形成的MEMS装置（17）; 在所述主体上方延伸的空腔（25）; 移动和固定结构（18,19），其延伸到空腔上方并经由锚定区域（16）物理连接到身体。 以及在主体（2）和锚固区域（16）之间延伸并且电连接到移动和固定结构的电连接区域（10a，10b，10c）。 电连接区域（10a，10b，10c）由包括第一半导体材料层（5），半导体材料的二元化合物和过渡金属的复合层（6）的导电性多层构成，以及 第二半导体材料层（7）。