Circuit intégré comportant un composant auxiliaire, par example un composant passif ou un microsystème électromécanique, disposé au-dessus d'une puce électronique, et procédé de fabrication correspondant
    1.
    发明公开
    Circuit intégré comportant un composant auxiliaire, par example un composant passif ou un microsystème électromécanique, disposé au-dessus d'une puce électronique, et procédé de fabrication correspondant 审中-公开
    一种集成电路,包含这样的辅助成分。 作为无源装置或微机电系统,放置在电子芯片上,和其制备方法

    公开(公告)号:EP1321430A1

    公开(公告)日:2003-06-25

    申请号:EP02292916.0

    申请日:2002-11-25

    CPC classification number: B81C1/0023 B29C2043/5825

    Abstract: La fabrication d'un circuit intégré comporte une première phase de réalisation d'une puce électronique et une deuxième phase de réalisation d'au moins un composant auxiliaire disposé au-dessus de la puce et d'un capot protecteur recouvrant le composant auxiliaire. Selon un mode de mise en oeuvre, la première phase de réalisation de la puce PC s'effectue à partir d'un premier substrat semiconducteur et comporte la formation d'une cavité CV située dans une zone choisie de la puce et débouchant au niveau de la surface supérieure de la puce. La deuxième phase de réalisation comporte la réalisation du composant auxiliaire CAX à partir d'un deuxième substrat semiconducteur SB2, distinct du premier, puis le placement dans ladite cavité, du composant auxiliaire supporté par le deuxième substrat SB2, et l'adhésion mutuelle du deuxième substrat sur la surface supérieure de la puce située à l'extérieur de ladite cavité, le deuxième substrat SB2 formant alors également ledit capot protecteur.

    Abstract translation: 该电路包括支撑所述电子电路中的第一半导体衬底,并进行上机电元件的第二基板。 两个基底粘合在一起形成用于辅助成分的密封和保护外壳。 制造的第一阶段包括形成第一衬底内的半导体芯片(PC),并且在上表面上形成空腔的这个基片,以适应于辅助成分。 甲壁仍然围绕腔,留下所述空腔为好。 第二阶段包括在第二半导体基板(SB2),从所述第一分开形成的所述辅助部件(CAX)的。 然后,第二基片被翻转并施加于第一基板与所述辅助部件悬挂在第一衬底的空腔中的盖子。 两个基底粘合在一起形成用于辅助成分的密封和保护外壳。

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