Abstract:
COVER FOR VITREOUS SILICA CRUCIBLE AND VITREOUS SILICA CRUCIBLEBy providing a method capable of avoiding invasion of starting materialpowder for crucible into an inner face of the crucible, it is made possible to reliably avoid the invasion of foreign substances into a vitreous silica crucible until an actual use time of the crucible and to handle the crucible with no contamination. A cover 3 mounted onto an opening portion 2 of a vitreous silicacrucible 1, comprising a flange portion 4 in close contact with an outer peripheral end 2a of the opening portion 2, is mounted onto the crucible 1. Fig. 1
Abstract:
An inspection method of vitreous silica crucibles, includes: a measurement step of measuring an infrared absorption spectrum or a Raman shift of a measurement point on an inner surface of the vitreous silica crucible; a determining step of predicting whether or not a surface-defect region occurs at the measurement point based on an obtained spectrum to determine a quality of the vitreous silica crucible.
Abstract:
Quarzglastiegel (1), umfassend:einen geraden Körperabschnitt (1a) mit einer Zylinderform;einen Bodenabschnitt (1b), der gekrümmt ist; undeinen Eckabschnitt (1c), der zwischen dem geraden Körperabschnitt (1a) und dem Bodenabschnitt (1b) vorgesehen ist und eine größere Krümmung aufweist als der Bodenabschnitt (1b),wobei ein Blasengehalt eines Innenflächenschichtabschnitts, der von einer Innenfläche (10a) bis zu einer Tiefe von 0,5 mm reicht, in einem oberen Abschnitt (1a1) des geraden Körperabschnitts (1a) 0,2 % oder mehr und 2 % oder weniger beträgt,der Blasengehalt des Innenflächenschichtabschnitts in einem unteren Abschnitt (1a2) des geraden Körperabschnitts (1a) mehr als 0,1 % und nicht mehr als das 1,3fache einer Untergrenze des Blasengehalts des oberen Abschnitts (1a1) des geraden Körperabschnitts (1a) beträgt,der Blasengehalt des Innenflächenschichtabschnitts in dem Eckabschnitt (1c) mehr als 0,1 % und 0,5 % oder weniger beträgt,der Blasengehalt des Innenflächenschichtabschnitts in dem Bodenabschnitt (1b) 0,1 % oder weniger beträgt und der der Gehalt an großen Blasen mit einem Durchmesser von 300 µm bis 500 µm vom Eckabschnitt (1c) zum oberen Abschnitt (1a1) des geraden Körperabschnitts (1a) zunimmt.
Abstract:
[Probleme] Es werden ein Quarzglastiegel, der in der Lage ist, die Ausbeute eines Silicium-Einkristalls zu verbessern, indem das Ablösen von braunen Ringen unterdrückt wird, und ein Herstellungsverfahren dafür bereitgestellt.[Mittel zur Lösung der Probleme] In einem Quarzglastiegel 1 gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Peak einer Verteilung einer Gesamtkonzentration von Na, K und Ca in einer Tiefenrichtung von einer Innenfläche 10i des Tiegels an einer Position vorhanden, die tiefer als die Innenfläche liegt.
Abstract:
Bereitgestellt wird ein Quarzglastiegel, der imstande ist, sowohl eine Verbesserung der Produktionsausbeute von Silicium-Einkristallen als auch eine Unterdrückung der Erzeugung von Löchern in Einkristallen zu erreichen.Ein Quarzglastiegel 1 umfasst: einen geraden Körperabschnitt 1a mit einer Zylinderform; einen Bodenabschnitt 1b, der gekrümmt ist; und einen Eckabschnitt 1c, der zwischen dem geraden Körperabschnitt 1a und dem Bodenabschnitt 1b vorgesehen ist und in dem ein Blasengehalt eines Innenflächenschichtabschnitts, der von einer Innenfläche bis zu einer Tiefe von 0,5 mm reicht, in einem oberen Abschnitt 1ades geraden Körperabschnitts 1a 0,2 % oder mehr und 2 % oder weniger beträgt, der Blasengehalt des Innenflächenschichtabschnitts in einem unteren Abschnitt 1ades geraden Körperabschnitts 1a mehr als 0,1 % und nicht mehr als das 1,3fache einer Untergrenze des Blasengehalts des oberen Abschnitts 1ades geraden Körperabschnitts 1a beträgt, der Blasengehalt des Innenflächenschichtabschnitts in dem Eckabschnitt 1c mehr als 0,1 % und 0,5 % oder weniger beträgt und der Blasengehalt des Innenflächenschichtabschnitts in dem Bodenabschnitt 1b 0,1 % oder weniger beträgt.
Abstract:
In an exemplary embodiment, a quartz glass crucible 1 includes: a straight body portion 1a having a cylindrical shape; a bottom portion 1b; and a corner portion 1c, in which a bubble content of an inner surface layer portion ranging from an inner surface to a depth 0.5 mm in an upper portion 1a1 of the straight body portion 1a is 0.2% to 2%, the bubble content of the inner surface layer portion in a lower portion 1a2 of the straight body portion 1a is more than 0.1% and not more than 1.3 times a lower limit of the bubble content of the upper portion 1a1, the bubble content of the inner surface layer portion in the corner portion 1c is more than 0.1% and 0.5% or less, and the bubble content of the inner surface layer portion in the bottom portion 1b is 0.1% or less.