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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1646725A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03807987.9
申请日：2003-04-01
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01L21/67745 , C23C14/042 , C23C14/505 , C23C14/568 , G11B7/266 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67751
Abstract: 一种膜形成装置，其中具有多个膜形成室的真空室安装在不同的平面内并通过真空传递室彼此连通，并且基片通过设置在该传递室中的一基片传递机构而在该真空室之间被传递。从而膜形成装置中的室的数目可以容易地增加，并可节省安装空间和提高生产效率。
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公开(公告)号：CN1647180A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03807717.5
申请日：2003-04-01
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/50 , G11B7/266
Abstract: 本发明提供一种基片传递方法，其包括在空气中保持没有中心孔的盘形基片或类似物，并将该基片容易地传递给溅射装置的步骤。在该盘形基片的每个表面的中心区域内形成一突起部，并且该基片通过基片固定装置与一掩模形成一个整体并被输送。此外，在传递机构中，通过用磁力保持该掩模和用一基片保持装置夹紧位于基片前表面上的突起部而保持该基片和掩模。在要将基片传递至其上的基片托架中，同时用磁力保持掩模和夹持位于基片后表面上的突起部，并且在传递期间，基本上同时减少传递机构中的磁力和释放对该突起部的夹紧。
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公开(公告)号：CN1639785A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN03805531.7
申请日：2003-03-07
Applicant: TDK株式会社
IPC: G11B7/26
Abstract: 本发明提供一种溅射装置中的基板卡夹方法，用于在牢固地使没有中心孔的圆盘状基板与保持件紧贴而保持基板。具体地，所使用的该圆盘状基板在其背面侧具有一基本圆柱形的突起部，并且在该溅射装置中，该突起部插入一设置在基板支承部上的具有一圆筒形内表面的凹陷部中。通过一设置在该凹陷部中的固定结构将该突起部固定，该基板的背面在与一形成在该凹陷部周围用作基板支承部的平坦表面保持紧贴的同时而被支承。
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公开(公告)号：CN100350482C
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN03805531.7
申请日：2003-03-07
Applicant: TDK株式会社
IPC: G11B7/26
Abstract: 本发明提供一种溅射装置中的基板卡夹方法，用于在牢固地使没有中心孔的圆盘状基板与保持件紧贴而保持基板。具体地，所使用的该圆盘状基板在其背面侧具有一基本圆柱形的突起部，并且在该溅射装置中，该突起部插入一设置在基板支承部上的具有一圆筒形内表面的凹陷部中。通过一设置在该凹陷部中的固定结构将该突起部固定，该基板的背面在与一形成在该凹陷部周围用作基板支承部的平坦表面保持紧贴的同时而被支承。
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公开(公告)号：CN1646723A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03807718.3
申请日：2003-04-01
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , G11B7/266 , G11B11/10582
Abstract: 在一种溅射装置中，一覆盖基片的中心部分的内掩模由一支承件支承，该支承件设置在一靶的后表面上的一垫板上，并且该内掩模通过一弹簧以一预定负荷紧靠该基片。通过这种结构，当进行薄膜的沉积时，该紧靠基片的内掩模可与该基片一起旋转，并且能可靠地形成该基片的中心部分的无膜形成区域，并改善膜形成区域中的薄膜厚度等。
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