公开(公告)号：DE59107982D1

公开(公告)日：1996-08-14

申请号：DE59107982

申请日：1991-02-27

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： MALIN COSMAS ,  SAWATZKI HARRY

IPC: B65G49/07 ,  B65G1/00 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H01L21/00

公开(公告)号：DE59207100D1

公开(公告)日：1996-10-17

申请号：DE59207100

申请日：1992-02-26

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： MALIN COSMAS ,  STEIGMEIER EDGAR F DR ING ,  NESENSOHN THOMAS ,  SAWATZKI HARRY L ,  AUDERSET HEINRICH ,  SCHMID GERT

IPC: G01B11/30 ,  G01M11/02 ,  G01N21/88 ,  G01N21/89 ,  G01N21/93 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G02B21/10 ,  G11B5/84 ,  G11B7/26 ,  G01N21/47