公开(公告)号：DE59207100D1

公开(公告)日：1996-10-17

申请号：DE59207100

申请日：1992-02-26

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： MALIN COSMAS ,  STEIGMEIER EDGAR F DR ING ,  NESENSOHN THOMAS ,  SAWATZKI HARRY L ,  AUDERSET HEINRICH ,  SCHMID GERT

IPC: G01B11/30 ,  G01M11/02 ,  G01N21/88 ,  G01N21/89 ,  G01N21/93 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G02B21/10 ,  G11B5/84 ,  G11B7/26 ,  G01N21/47

公开(公告)号：AT142783T

公开(公告)日：1996-09-15

申请号：AT92103251

申请日：1992-02-26

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： MALIN COSMAS DIPL EL ING ETH ,  STEIGMEIER EDGAR F DR ING ETH ,  NESENSOHN THOMAS ,  SAWATZKI HARRY L ,  AUDERSET HEINRICH ,  SCHMID GERT

IPC: G01B11/30 ,  G01M11/02 ,  G01N21/88 ,  G01N21/89 ,  G01N21/93 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G02B21/10 ,  G11B5/84 ,  G11B7/26 ,  G01N21/47