公开(公告)号：DE112007003616T5

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：DE112007003616

申请日：2007-12-26

Applicant: ULVAC INC

Inventor： UEDA MASAHISA ,  KURIMOTO TAKASHI ,  ISHIKAWA MICHIO ,  SUU KOUKOU ,  YOGO TOSHIYA

IPC: H01L21/3065

公开(公告)号：DE112007003616B4

公开(公告)日：2013-11-07

申请号：DE112007003616

申请日：2007-12-26

Applicant: ULVAC INC

Inventor： UEDA MASAHISA ,  KURIMOTO TAKASHI ,  ISHIKAWA MICHIO ,  SUU KOUKOU ,  YOGO TOSHIYA

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/50 ,  H01J37/32 ,  H01L21/311

Abstract: Eine Veraschungsvorrichtung, die verhindert, dass die Bearbeitungseffizienz abnimmt. Eine Verströmungsplatte (31) ist einem Substrat-Objektträger (20) zugewandt, der ein Substrat (W) haltert, und verteilt Sauerstoffradikale, die einer Kammer (11) zugeführt werden. Eine Metallschutzplatte (34), die zwischen der Verströmungsplatte (31) und dem Substrat-Objektträger (20) angeordnet ist, umfasst Durchgangsöffnungen (41), durch welche Sauerstoffradikale hindurchgehen. Die Metallschutzplatte umfasst darüber hinaus auf einer dem Substrat (W) zugewandten Fläche eine erste Schicht (34b), die aus demselben Metall wie dem Metall gebildet ist, das aus dem Substrat (W) freigesetzt wird.

公开(公告)号：EP2045353A4

公开(公告)日：2010-06-30

申请号：EP07790796

申请日：2007-07-13

Applicant: ULVAC INC

Inventor： ISHIKAWA MICHIO ,  HAYASHI TOSHIO

IPC: C23C14/35 ,  H01J37/32 ,  H01J37/34 ,  H05H1/46

CPC classification number: C23C14/35 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/3266 ,  H01J37/34