公开(公告)号：UA86366C2

公开(公告)日：2009-04-27

申请号：UAA200509014

申请日：2005-09-23

Applicant: UNITED TECHNOLOGIES CORP

Inventor： BELOUSOV IGOR V ,  MALASHENKO IGOR S ,  SERGIYENKO GREGORY A ,  SHELKOVOI EUGENE A ,  MEMMEN ROBERT L ,  RUTZ DAVID A ,  KINSTLER MONIKA A

IPC: C23C16/00 ,  B05D3/04 ,  B32B15/00

Abstract: Способосажденияпервогоматериаланаподложкувключаетрасположениеподложкив камередляосаждения. Образуютрасплавмеждуподложкойи источникомпервогоматериалапутемрасплавленияодногоилинесколькихвторыхматериалов. Потокпервогоматериалапроходитсквозьрасплави отрасплавак подложкекакпотокпара. Практическинерасходнаячастьрасплававключаетсплав, которыйимееттемпературуплавления, нижетемпературыплавленияпервогоматериала.