一种用于飞行时间质谱的磁控溅射团簇离子源

    公开(公告)号:CN104282526A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201310291516.1

    申请日:2013-07-11

    CPC classification number: H01J49/142

    Abstract: 一种用于飞行时间质谱的磁控溅射团簇离子源,该离子源包括腔体、氩进气管、氦进气管、金属靶材和喷口。金属靶材位于靠近飞行时间质谱的一侧,氩进气管和氦进气管在金属靶材的两端,腔体与飞行时间质谱相邻的一侧有1个凸向腔体的喷口。本发明将磁控溅射离子源与飞行时间质谱相结合,测试样品时,氩气经进气管进入腔体后被电离,电离的氩气离子快速的轰击金属靶材表面,产生金属等离子体,金属等离子体由氦气载带,由喷口喷出形成团簇离子,进入高分辨飞行时间质谱,最后探测器探测得到尺寸范围很宽的离子团簇飞行时间质谱图。本发明可适用于各种金属大尺寸团簇离子的成分分析。

    质谱分析装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106574911A

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201480081282.0

    申请日:2014-08-20

    CPC classification number: H01J49/165 H01J49/0031 H01J49/025 H01J49/142

    Abstract: 本发明在将PESI离子源的探针(6)刺入试样(9)之前,在从高电压产生部(12)对探针(6)不施加电压的状态和施加有电压的状态下分别测定总离子流。若探针(6)恰当地安装在支架(5)上,则电压施加会使得探针(6)顶端周围的空气中的成分离子化,因此,这会反映到总离子流中。因此,不施加电压时与施加电压时的总离子流会产生较大差异。另一方面,若探针(6)未恰当地安装,则不施加电压时与施加电压时的总离子流不会产生明显差异。探针安装判定部(24)以正常时求出的阈值为基准来判定总离子流差,由此检测探针(6)的安装不良,若有安装不良,则将错误信息输出至显示部(42)。由此,能可靠地检测探针(6)的安装不良、脱落,从而可避免执行无用的测定、伴随时间经过的生物体试样的劣化等。

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