公开(公告)号：CN102267010A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN201110148815.0

申请日：2011-06-01

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 泷川靖弘 ,  成瀬正史 ,  岩下美隆

IPC: B23K26/06 ,  G02B17/06

Abstract: 本发明得到一种偏振方位角调整装置，其可以容易地对被加工物进行稳定的激光加工。该装置具有光学单元，该光学单元具有：偏振元件(14)，其使入射来的激光的P波偏振成分透过，并且对激光的S波偏振成分进行反射；以及反射镜(15、15)，其对由偏振元件(14)反射后的激光的S波偏振成分进行反射并向光路的下游侧引导，并且，该光学单元吸收P波偏振成分且将S波偏振成分向光路的下游侧射出，在光学单元中，将偏振元件(14)和反射镜(15、15)配置为，使得激光向光学单元入射的入射光轴和激光从光学单元射出的出射光轴同轴，并且在使光学单元以入射光轴为中心旋转的情况下，维持入射光轴以及出射光轴的光轴方向不变。

公开(公告)号：CN102267010B

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201110148815.0

申请日：2011-06-01

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 泷川靖弘 ,  成瀬正史 ,  岩下美隆

IPC: B23K26/064 ,  G02B17/06

Abstract: 本发明得到一种偏振方位角调整装置，其可以容易地对被加工物进行稳定的激光加工。该装置具有光学单元，该光学单元具有：偏振元件(14)，其使入射来的激光的P波偏振成分透过，并且对激光的S波偏振成分进行反射；以及反射镜(15、15)，其对由偏振元件(14)反射后的激光的S波偏振成分进行反射并向光路的下游侧引导，并且，该光学单元吸收P波偏振成分且将S波偏振成分向光路的下游侧射出，在光学单元中，将偏振元件(14)和反射镜(15、15)配置为，使得激光向光学单元入射的入射光轴和激光从光学单元射出的出射光轴同轴，并且在使光学单元以入射光轴为中心旋转的情况下，维持入射光轴以及出射光轴的光轴方向不变。

公开(公告)号：CN101314196B

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN200810100180.5

申请日：2008-05-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岩下美隆 ,  井岛健一 ,  成濑正史 ,  金田充弘 ,  小林信高 ,  岩田高明

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/08 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其可以在同时多点照射型激光加工装置中，使2束激光加工品质的差异变小，实现加工品质的提高。该激光加工装置具有：第1偏振单元，其将1束激光分光为光路不同的2束激光(Lα、Lβ)；电扫描器，其配置在激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)沿XY工作台上的第1方向进行扫描；电扫描器，其配置在激光(Lβ)的光路上，使激光(Lβ)沿XY工作台上与第1方向不同的第2方向进行扫描；第2偏振单元，其将2束激光混合；一对主电扫描器，其使激光(Lα、Lβ)沿XY工作台上互不相同的第3和第4方向进行扫描；以及fθ透镜，其使来自主电扫描器的激光(Lα、Lβ)分别在被加工物的规定位置上聚光。

公开(公告)号：CN101314196A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200810100180.5

申请日：2008-05-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岩下美隆 ,  井岛健一 ,  成濑正史 ,  金田充弘 ,  小林信高 ,  岩田高明

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/08 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其可以在同时多点照射型激光加工装置中，使2束激光加工品质的差异变小，实现加工品质的提高。该激光加工装置具有：第1偏振单元，其将1束激光分光为光路不同的2束激光(Lα、Lβ)；电扫描器，其配置在激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)沿XY工作台上的第1方向进行扫描；电扫描器，其配置在激光(Lβ)的光路上，使激光(Lβ)沿XY工作台上与第1方向不同的第2方向进行扫描；第2偏振单元，其将2束激光混合；一对主电扫描器，其使激光(Lα、Lβ)沿XY工作台上互不相同的第3和第4方向进行扫描；以及fθ透镜，其使来自主电扫描器的激光(Lα、Lβ)分别在被加工物的规定位置上聚光。

公开(公告)号：CN101439442B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200810177545.4

申请日：2008-11-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 成濑正史 ,  岩下美隆 ,  泷川靖弘 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/38 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。

公开(公告)号：CN101439442A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200810177545.4

申请日：2008-11-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 成濑正史 ,  岩下美隆 ,  泷川靖弘 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/38 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。