公开(公告)号：CN101314196B

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN200810100180.5

申请日：2008-05-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岩下美隆 ,  井岛健一 ,  成濑正史 ,  金田充弘 ,  小林信高 ,  岩田高明

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/08 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其可以在同时多点照射型激光加工装置中，使2束激光加工品质的差异变小，实现加工品质的提高。该激光加工装置具有：第1偏振单元，其将1束激光分光为光路不同的2束激光(Lα、Lβ)；电扫描器，其配置在激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)沿XY工作台上的第1方向进行扫描；电扫描器，其配置在激光(Lβ)的光路上，使激光(Lβ)沿XY工作台上与第1方向不同的第2方向进行扫描；第2偏振单元，其将2束激光混合；一对主电扫描器，其使激光(Lα、Lβ)沿XY工作台上互不相同的第3和第4方向进行扫描；以及fθ透镜，其使来自主电扫描器的激光(Lα、Lβ)分别在被加工物的规定位置上聚光。

公开(公告)号：CN101314196A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200810100180.5

申请日：2008-05-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岩下美隆 ,  井岛健一 ,  成濑正史 ,  金田充弘 ,  小林信高 ,  岩田高明

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/08 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其可以在同时多点照射型激光加工装置中，使2束激光加工品质的差异变小，实现加工品质的提高。该激光加工装置具有：第1偏振单元，其将1束激光分光为光路不同的2束激光(Lα、Lβ)；电扫描器，其配置在激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)沿XY工作台上的第1方向进行扫描；电扫描器，其配置在激光(Lβ)的光路上，使激光(Lβ)沿XY工作台上与第1方向不同的第2方向进行扫描；第2偏振单元，其将2束激光混合；一对主电扫描器，其使激光(Lα、Lβ)沿XY工作台上互不相同的第3和第4方向进行扫描；以及fθ透镜，其使来自主电扫描器的激光(Lα、Lβ)分别在被加工物的规定位置上聚光。

公开(公告)号：CN1290660C

公开(公告)日：2006-12-20

申请号：CN02822600.3

申请日：2002-11-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 黑岩忠 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  H05K3/00

CPC classification number: B23K26/0608 ,  B23K26/067 ,  B23K26/382 ,  B23K2101/42 ,  B23K2103/50

Abstract: 本发明为一种激光加工装置，该装置用第一偏振光装置25将一束激光26分光成两束激光26a、26b，一束经反射镜24，另一束用第一电流计扫描器29沿两个轴向扫描，并将两束激光26a、26b引向第二偏振光装置27后，用第二电流计扫描器30扫描，来加工被加工件22，在这种激光加工装置中，这样构成光路，使得透过第一偏振光装置25的激光26b用第二偏振光装置27反射，使得用第一偏振光装置25反射的激光26a透过第二偏振光装置27。

公开(公告)号：CN101439442B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200810177545.4

申请日：2008-11-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 成濑正史 ,  岩下美隆 ,  泷川靖弘 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/38 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。

公开(公告)号：CN101439442A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200810177545.4

申请日：2008-11-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 成濑正史 ,  岩下美隆 ,  泷川靖弘 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/38 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。

公开(公告)号：CN1585684A

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：CN02822600.3

申请日：2002-11-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 黑岩忠 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  H05K3/00

CPC classification number: B23K26/0608 ,  B23K26/067 ,  B23K26/382 ,  B23K2101/42 ,  B23K2103/50

Abstract: 本发明为一种激光加工装置，该装置用第一偏振光装置25将一束激光26分光成两束激光26a、26b，一束经反射镜24，另一束用第一电流计扫描器29沿两个轴向扫描，并将两束激光26a、26b引向第二偏振光装置27后，用第二电流计扫描器30扫描，来加工被加工件22，在这种激光加工装置中，这样构成光路，使得透过第一偏振光装置25的激光26b用第二偏振光装置27反射，使得用第一偏振光装置25反射的激光26a透过第二偏振光装置27。