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公开(公告)号：CN108603282A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009419.5
申请日：2017-02-02
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。本发明涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序；在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序；和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。
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公开(公告)号：CN108603282B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201780009419.5
申请日：2017-02-02
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。本发明涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序；在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序；和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。
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公开(公告)号：CN111074218A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN202010075993.4
申请日：2017-02-02
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明涉及圆筒型靶的制造方法及圆筒型靶。本发明的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。本发明涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序；在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序；和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。
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公开(公告)号：CN111074218B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202010075993.4
申请日：2017-02-02
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明涉及圆筒型靶的制造方法及圆筒型靶。本发明的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。本发明涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序；在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序；和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。
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