扫描天线和扫描天线的制造方法

    公开(公告)号:CN110192306A

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201880006489.X

    申请日:2018-01-11

    Abstract: 扫描天线(1000)具有:TFT基板(101),其具有支撑于第1电介质基板(1)的多个TFT、以及多个贴片电极(15);缝隙基板(201C),其具有支撑于第2电介质基板(51)的缝隙电极(55);液晶层,其设置在TFT基板与缝隙基板之间;以及反射导电板(65),其以隔着电介质层与上述第2电介质基板相对的方式配置。缝隙电极(55)具有与多个贴片电极(15)对应地配置的多个缝隙(57),贴片电极(15)连接到对应的TFT的漏极,缝隙电极(55)具有Cu层(55MC、55MD)、以及下侧金属层(55LC、55LD)和/或上侧金属层(55UD),下侧金属层和/或上侧金属层使Cu层具有的拉伸应力减小约一半以上。

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