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公开(公告)号：CN114728433B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202080079987.4
申请日：2020-11-20
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 一种玻璃板的制造方法，将玻璃原板(7)和保护片(8)以纵姿态交替地排列而制作层叠体，从层叠体(9)取出了玻璃原板(7)与保护片(8)之后，在将玻璃原板(7)以平置姿态重叠于保护片(8)上的状态下将玻璃原板(7)切断而断开为玻璃板(13)与不需要部分(14)，然后，从保护片(8)上去除不需要部分(14)，在将玻璃原板(7)切断时，保护片(8)的一侧的形态被设为使玻璃原板(7)的一侧的角部(7d)从该保护片(8)伸出的形态，且所述一侧为玻璃原板(7)以及保护片(8)处于纵姿态时的该两者(7、8)的上侧。
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公开(公告)号：CN109790064B
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN201780059814.4
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 本发明提供一种玻璃基板(2)的制造方法，其中，在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，以使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的过程中，利用从主体部(5a)具备的供气口(14)供给到处理空间(13)的处理气体(4)来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理之际，朝向搬运方向的下游侧喷射第一吹扫气体6，以使得在形成于玻璃基板2中的进入到处理空间(13)的部位与顶板部(5b)之间的间隙(13a)，形成沿着搬运方向的第一吹扫气体(6)的流动，其中，在玻璃基板(2)的最后部(2e)进入处理空间(13)之前，停止喷射第一吹扫气体(6)。
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公开(公告)号：CN116261502A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202180064940.5
申请日：2021-11-16
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: B24B7/24
Abstract: 板玻璃加工装置(1)具备使加工工具(B)向按压板玻璃(A)的端面的方向移动的伺服机构(3)。伺服机构(3)具备无芯线性马达(7)。
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公开(公告)号：CN110088055B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201780079164.X
申请日：2017-11-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本发明的玻璃基板的制造装置(10)具备用于向成为玻璃基板的板状玻璃的一方的主表面供给处理气体(Ga)而实施规定的表面处理的表面处理装置(11)。表面处理装置(11)具备：处理气体生成装置(16)；将处理气体(Ga)向板状玻璃的一方的主表面供给的供气通道(17)；对处理气体(Ga)实施除害处理的除害装置(18)；将供给到一方的主表面的处理气体(Ga)向除害装置(18)导入的排气通道(19)；以及向供气通道(17)导入无害气体(Gb)的无害气体导入通道(20)。能够向供气通道(17)的比无害气体导入通道(20)与供气通道(17)的汇合位置(P1)靠下游侧的位置导入无害气体(Gb)和处理气体(Ga)中的任一方。
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公开(公告)号：CN109843821B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201780064578.5
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，包含如下工序：在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，使得通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的同时，使用处理气体(4)，对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，其中，从设置于主体部(5a)的供气口(14)向处理空间(13)供给该处理气体(4)，并且，通过分别设置于主体部(5a)的搬运方向的上游侧端部及下游侧端部的排气口(15)从处理空间(13)排出该处理气体(4)，关于沿着搬运方向的距离，下游侧端部的排气口(15)与最下游侧的供气口(14)的相互间距离(D2)比上游侧端部的排气口(15)与最上游侧的供气口(14)的相互间距离(D1)长。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109963820A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201780070959.4
申请日：2017-10-20
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 本发明的玻璃基板(P)的制造装置(10)具备将玻璃基板(P)沿规定的方向(X1)输送的输送装置(11)和表面处理装置(12)。表面处理装置(12)具备：箱体(14)；在箱体(14)中的一个主表面(P1)侧开口的开口部(17)；以相对于开口部(17)能够拆卸的方式安装，且具有用于向一个主表面(P1)供给处理气体(Ga)的供气口(31)的一个或多个供气单元(18)。这里，供气单元(18)安装在开口部(17)中的沿着玻璃基板(P)的输送方向(X1)的多个位置处。
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公开(公告)号：CN109890772A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201780067500.9
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 在将玻璃基板(2)以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)之间形成的处理空间(13)的同时，使用从供气口(14)向处理空间(13)供给且通过排气口(15)从处理空间(13)排出的处理气体(4)，来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，所述供气口(14)设置于主体部(5a)，所述排气口(15)分别设置于主体部(5a)的输送方向的上游侧端部及下游侧端部，此时，在上游侧端部的排气口(15)与下游侧端部的排气口(15)之间，沿着输送方向配置多个供气口(14)，从各供气口(14)供给处理气体(4)。
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公开(公告)号：CN114728433A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080079987.4
申请日：2020-11-20
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: B26F3/00
Abstract: 一种玻璃板的制造方法，将玻璃原板(7)和保护片(8)以纵姿态交替地排列而制作层叠体，从层叠体(9)取出了玻璃原板(7)与保护片(8)之后，在将玻璃原板(7)以平置姿态重叠于保护片(8)上的状态下将玻璃原板(7)切断而断开为玻璃板(13)与不需要部分(14)，然后，从保护片(8)上去除不需要部分(14)，在将玻璃原板(7)切断时，保护片(8)的一侧的形态被设为使玻璃原板(7)的一侧的角部(7d)从该保护片(8)伸出的形态，且所述一侧为玻璃原板(7)以及保护片(8)处于纵姿态时的该两者(7、8)的上侧。
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公开(公告)号：CN107683265B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201680033710.1
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使上部结构体(10)的下表面(10a)与具有供气口(22)以及排气口(26)的下部结构体(11)的上表面(11a)对置配置而形成于对置的两个面(10a、11a)彼此之间的处理空间(13)内，利用从供气口(22)喷出并向排气口(26)吸入的处理气体(5)对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(22)与排气口(26)在玻璃板搬运方向(A)上位于分离开的位置，组装于下部结构体(11)的特定搬运机构(9)从下方支承玻璃板(3)，以供进行该玻璃板(3)的搬运，将特定搬运机构(9)配置在除了供气口(22)与排气口(26)彼此之间的区域之外的区域。
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公开(公告)号：CN107709260B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201680038286.X
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。
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