公开(公告)号：CN102950538A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210295630.7

申请日：2012-08-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  中谷嘉孝 ,  山本一义 ,  木村刚 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/26 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

公开(公告)号：CN102950538B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210295630.7

申请日：2012-08-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  中谷嘉孝 ,  山本一义 ,  木村刚 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/26 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。