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公开(公告)号：CN102806517A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210179431.X
申请日：2012-06-01
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨装置及板状体的研磨方法，该研磨装置具备：背垫，构成为吸附保持板状体的主表面中的第一面；研磨垫，构成为被按压于所述板状体的所述主表面中的第二面并研磨该第二面，辅助板配置于所述板状体的周围或周围的局部，该辅助板构成为防止所述研磨垫的按压引起的所述板状体的周围的所述背垫的隆起。
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公开(公告)号：CN102950538B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201210295630.7
申请日：2012-08-17
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。
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公开(公告)号：CN102806517B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201210179431.X
申请日：2012-06-01
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨装置及板状体的研磨方法，该研磨装置具备：背垫，构成为吸附保持板状体的主表面中的第一面；研磨垫，构成为被按压于所述板状体的所述主表面中的第二面并研磨该第二面，辅助板配置于所述板状体的周围或周围的局部，该辅助板构成为防止所述研磨垫的按压引起的所述板状体的周围的所述背垫的隆起。
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公开(公告)号：CN102950538A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210295630.7
申请日：2012-08-17
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。
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公开(公告)号：CN102653074A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201210052236.0
申请日：2012-03-01
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及玻璃板的研磨方法，以通过使熔融玻璃流入熔融锡浴上来制造的玻璃板、且厚度为0.7mm以下、1边长度为1000mm以上、杨氏模量为65GPa以上的玻璃板为研磨对象的玻璃板，利用玻璃保持部件保持上述玻璃板的非研磨面，利用研磨工具研磨该玻璃板的研磨面上存在的高度为0.3μm以下的波纹而使其降低至0.05μm以下，从而制造平板显示器用玻璃基板。
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