公开(公告)号：CN102950538B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210295630.7

申请日：2012-08-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  中谷嘉孝 ,  山本一义 ,  木村刚 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/26 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

公开(公告)号：CN102950538A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210295630.7

申请日：2012-08-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  中谷嘉孝 ,  山本一义 ,  木村刚 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/26 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

公开(公告)号：CN104105573A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201380008676.9

申请日：2013-01-23

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 山本一义

IPC: B24B37/26 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B27/0023 ,  B24B27/0069 ,  B24B37/26 ,  B24B37/345

Abstract: 本发明涉及研磨垫，其具有：在研磨面上以规定的间隔平行地设置的多个第一槽；设置在所述研磨面上且与所述第一槽交叉的多个第二槽；及设置在所述第一槽及所述第二槽的底面上的由研磨液供给孔及研磨液吸引孔构成的多个孔。